奥林巴斯(Olympus)半导体与平板显示器检测显微镜MX63/MX63L:
让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅
MX63和MX63L显微镜系统经过优化，适用于Z大尺寸300 mm的晶圆、平板显示器、电路板以及其他大尺寸样品的***检测。其采用的模块化设计使您能够选择需要的组件，获得根据应用定制的系统。
这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时，保持检测员的工作舒适性。与PRECiV图像分析软件结合使用时，可以简化从观察到报告创建的整个工作流程。
多功能
设计满足电子行业的人体工学和**性要求，并以更多功能提高分析能力。
人性化
简化的显微镜设置使用户可以更轻松地进行系统设置的调整和重现。
成像技术
成熟可靠的光学器件和成像技术可提供清晰的图像和可靠的检测。
模块化
用户可以使用适合其应用的组件进行系统定制。
应用图像库
图像管理功能可为您呈现您真正想要观察的内容。
MX63系列旨在使客户能够选择各种光学组件，以满足其特定的检测和应用需求。该系统可使用所有观察方法。用户还可以从各种PRECiV图像分析软件包中进行选择，以满足其特定的图像采集和分析需求。
两个系统兼容多种样品规格
MX63系统可处理尺寸达200 mm的晶圆，而MX63L系统可以处理尺寸达300 mm的晶圆，但占地面积却与MX63系统一样小。模块化设计便于您根据自身的特定需求定制显微镜。
红外兼容性
红外观察可以使用红外物镜进行，该物镜利用硅透射红外光的特性，使操作员能够对封装和安装在印刷电路板上的集成电路芯片内部进行无损检测。5倍至100倍红外物镜可实现从可见光波长到近红外波长的色差校正。特别是对于20倍或更高倍率的物镜，可通过校正环对覆盖在观察对象上的硅层引起的像差进行校正，从而获得清晰的图像。
奥林巴斯(Olympus)半导体与平板显示器检测显微镜MX63/MX63L技术规格：
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MX63 |
MX63L |
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光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正系统） |
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显微镜镜架 |
反射光照明 |
白光LED（带光强度管理器）12 V 100 W卤素灯，100W汞灯，光导 |
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透射光照明 |
透射光照明装置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。 |
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对焦 |
行程：32 mm |
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Z大载荷重量（包括载物台和支架） |
8 kg |
15 kg |
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观察筒 |
宽视场（FN 22 mm） |
正像三目镜筒：U-ETR4 |
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*宽视场（FN 26.5 mm） |
正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR（光程切换**** [目镜]：0 [相机] 或0：****） |
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电动物镜转换器 |
明场
明场和暗场 |
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载物台（X x Y） |
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2 |
带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2 |
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重量 |
约35.6kg（显微镜镜架26kg） |
约44kg（显微镜镜架28.5kg） |
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